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SuperViewW白光干涉測量膜厚儀器3D重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合下，測量精度可達亞納米級別。不通倍率的鏡頭，適應于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

中圖儀器SEM掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現微觀的形貌和元素分析等。

CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現微觀的形貌和元素分析等。

NS系列臺階薄膜測厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。采用線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

CEM3000國產桌面掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。不同于立式電鏡，CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。

中圖儀器VT6000轉盤共聚焦光學成像系統以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。